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电子级超纯水中国国家标准(GB/T11446.1-1997)
作者:admin | 发布时间:2025-04-13

电子级超纯水中国国家标准(GB/T11446.1-1997)

项目

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

比电阻MΩ.cm@25℃

18(95%的时间不低于17)

95%的时间不低于13)

≤ μg/L

2

10

>1μm微粒数 < 个/ml

0.1

5

细菌个数< 个/ml

0.001

0.1

≤μg/L

0.2

1

≤μg/L

0.2

1

≤μg/L

0.1

1

≤μg/L

0.5

2

≤ g/L

0.5

2

≤ μg/L

1

1

硝酸根≤ μg/L

1

1

磷酸根≤ μg/L

1

1

硫酸根 ≤μg/L

1

1

总有机碳≤μg/L

20

100

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